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洁净厂房里的气流是控制洁净度与温湿度的较主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在洁净厂房测试的第一步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还**用风速乘以出口面积来换算。 　　 　　单*向型洁净厂房，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单*向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要，因此多只需要测量风量。 无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则：  
一、不携入 在无尘室内不携入微粒子的方法有： 1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理； 2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。 4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用**纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。 5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。  
二、不发生 在控制较大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制*二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到较小限度应采取以下对策： 1）减少接触剥离发尘的动作形态； 2）采用磨耗发尘小的材质； 3）采用发尘小的润滑油； 4）机台应用空压浮上的非接触化工作原理。